Технология микроэлектронных устройств: Справочник

Название: Технология микроэлектронных устройств: Справочник
Автор: Готра З.Ю.
Год: 1991
Издательство: М.: Радио и связь
Язык: русский
Формат: djvu
Страниц: 528
Размер: 18.8 Мб

Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств.
Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ

Краткое оглавление:

Глава 1. Методы получения, очистки и легирования монокристаллических материалов
Глава 2. Механическая обработка кристаллов полупроводниковых материалов
Глава 3. Полупроводниковые подложки и физико-химические методы обработки их поверхности
Глава 4. Диффузия в полупроводниках
Глава 5. Технология эпитаксиальных слоев
Глава 6. Ионная имплантация
Глава 7. Технология тонких пленок
Глава 8. Фотошаблоны и технология их изготовления
Глава 9. Литографические процессы в технологии микроэлектронных устройств
Глава 10. Сборка микроэлектронных устройств
Глава 11. Герметизация микроэлектронных устройств

Скачать : Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справочник